Fraunhofer Institut für Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP

Entwicklung von Elektronenstrahltechnologie, Sputtertechnologie, plasmaaktivierter Hochratebedampfung sowie Hochrate-PECVD für die Anwendung u.a. in den Branchen Maschinenbau, Solarenergie, Verpackung, Biomedizintechnik oder Landwirtschaft